- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
??????????????????????????????????????????????????
2024-03-15 16:39:28 ???????????? ?????0 ?????
????????????????????????????????????????????Χ?????????????????AI??????????????????????????????????ü????????????????Χ?????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Χ?????????????
?????????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????GSS???????????Ч?????????????????????????糡?????????????????Σ????????????????????????????????????????????????????Χ????м??????????9.1 × 10⁶??????????R² = 0.9997??????????????????????17 ms?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????“Ultra-sensitive, highly linear, and hysteresis-free strain sensors enabled by gradient stiffness sliding strategy”???????npj Flexible Electronics??????
???????о??????У??о?????????????????????????????????????????????????——“????????”???????????????????????????1????????????????????/?繅???????γ?????EDL????????????????糡???????????????Σ???????????????????????????????????
?1 ??????????????????
??????????????????????????????????????????????????????????Χ?????????????????9.1 × 10⁶???????????????????????????????????????Χ?????????????????R² = 0.9997?????????????????????/?繅??????????????С???????γ????????????C₀?????pF??????????????????????н????????????κ??????繅???????????????????????????????????????????µF??????????????????????
?2 ????????????????????????????????????????
?????????????????????????о???????????????????????????0.5%?????????????佇??????17 ms????????LOD??????0.003%???????????????????????????????0.25??0.5??1 mm·s⁻¹?????????£?????仯????????7.2 µF??ε = 30%????
?????????У????????????????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????R² = 0.9997??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м????????????????????????????£????????????????????
?3 ????????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????仯???????????????????????????????????????????????????????и??????????????????????ο???????????????????????????????繅?????????????????????????????????????Щ?????ó?????????
?4 ??????????????????????????????????????????????????????
???????????????о????????????????????????????????У??????????????糡???????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????Χ????и????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ??????
?????????https://doi.org/10.1038/s41528-024-00301-7
?????????
?????????ü?????????????????????????????????
??????????3D??????????????????????????????????????
??????????
- ????????????MEMS?????????????????????????????????
- ????????????????????????????????????????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ?????MEMS???????????????????????????????????????
- ??????????????????????MEMS??????????о????
- ????л??????????????????????????????
- ????????????????LC?????????????
- ????????????????????????????????????
- ????????????????????NEMS????????
- ??????????????????????????仯???????????
???????????
- 2.9K?????MEMS???????????????????????????????????????
- 2.5K????MEMS????????Cr????V2O3???????????о?
- 2.3K?????????????????????????????????????
- 1.8K??????????????????????е?????????????????
- 1.8K??ī????????ī??????????????????????????豸
- 1.6K????????????CMOS-MEMS??????????????SoC?????????
- 1.1K?????PZT??紫???????????????????????????????
- 738??????????????????????·?????????????????????????