- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????????????????????????о?????y??
2016-03-23 21:09:21 ???????????? ?????0 ?????
???????????????????????????豸?????????г?????????????????????豸?????????????????????δ?????????????????????????????????????????????緋????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????????й???????????????????????????????????????????????????????????á?
??????????????????????????й??????????????£??п??????о??????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????÷??濪????????о???Adv. Mater. 2014, 26, 6950-6958???????????????????????????????????????????????????????????????????????????Adv. Mater. , 26, 2501-2507????????“?????”????????????5μm??????????????????Adv. Mater. 2013, 25, 6714-6718????????ī????????????????????????????????????????
?1 ???????????????
???????о?????????????????????????????????????????????????????“???”???????????????“??ī”????????????????????????????“??楨??ī?????”???????ν??????????????????-?-??????????????????????????????????????γ?????????????????????????????????????????У???????????С?α???????????????????????1???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????α??????????????縴?????????2???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á????о???????VIP???·???????????????????????Adv. Mater. 2016, 28, 1369-1374?????
?2 ???????????
??????????IVD?ù???????????
?????????????????????????????????????
??????????
- ?????????????MEMS????λ??INS570D??????????????????????
- ??????о?????ASIC??????MEMS??????????????CMUT??
- ????????????????????????SoC?????????OX01E10
- ????214?????12???????MEMS?????????
- ????????????24GHz?????????????SOC??SRK1202A
- ??о???????????????????????????????
- ?????????MEMS??????ToF??????
- TDK?????????6??IMU??ICM-42688-P???????????????????????????
- ????????EPC???GaN???????????????????????????????
- ???????????????ToF???+????IC?????????????????3D???????
???????????
- 323??????о???鹼???????????·??????????
- 1462024?????????????????
- 129TDK???????6??IMU??3??TMR???????9???????????????...
- 118?????Alev 4 CMOS???????????????????????????
- 37???????????????????????????3D?????????ο????
- 34Knightscope????????????K1 Laser???????????????
- 33???????????????????????????????????
- 31TriLite???????СMEMS????????????????????