- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
????MEMS?糡?????????????????????
2018-01-25 14:43:34 ???????????? ?????0 ?????
?糡?????????????????????????????????????????????豸??????????????????1?????????????????????????????????????糡?????????????
?????????????????????????????????TU Wien?????о??????????????????豸?????????????????????????MEMS?糡????????????????????????觺?????Danube University Krems??????????????о????????????????????????????????????????????????糡?????о?????????????????Nature Electronics?????
MEMS?糡??????????????
“??????????糡?????豸?????Щ??????????” TU Wien????????????????о????Andreas Kainz??????“??Щ?豸?????????粿??????????????Щ?????????????????????糡??????豸???????????????ο???????????????????????”???????糡?????豸?????????????????????????????
TU Wien?????????MEMS?????????ù??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????糡???????辧??????????????????????????????????????????
a. ???MEMS?糡???????????????????????饗m????????????????????????k?????????????????????????????????????????糡??E???????????????????????????????????????F es????????????????????????????????λ???δx?????????ù??????λ????в?????b. ???????????????????LED?????????????????????????????????????·???????????????????????????????????????????????????????LED????????????????????????????c. ???MEMS?糡????????3D?????d. ???MEMS?糡???????????羵?
??????????λ????β???????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У??????????2?????????????????????????2?????????з???λ?????LED?????????????????????????????????????糡??????2???????????????????·?????λ????????????????????????????LED?????????д????????·???????????????????????????????ú????У?????????????????糡??????
????????????????????
???MEMS?糡??????????????糡??????????????????糡????????????????????????1KHz??糡????“???????????????????????????????С??200????/??????糡??” Andreas Kainz???“????ζ?????????????????в?????????????????????????????С???????????????MEMS?????????к???????????????????????????????????????????MEMS?糡?????????????????δ???????????????????á?”
????????
2018??3??30????4??1???????????????“MEMS??????????γ?”???????????У???????????????1?????MEMS??????????????????????????2???????о????????WLCSP?????????????TSV???????????????3????????????????????????????AlN??ZnO??PZT??籡????????????????FBAR??????????????????4??3D???в???????VCSEL??????????????豸????????????????????5??????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????
???????
??????????
?綽??13914101112
E-mail??guolei@memsconsulting.com
?????????
?????????????????????????????????????????
??????II-VI???????????????????????????辵?
??????????
- ?????????????MEMS????λ??INS570D??????????????????????
- ??????о?????ASIC??????MEMS??????????????CMUT??
- ????????????????????????SoC?????????OX01E10
- ????214?????12???????MEMS?????????
- ????????????24GHz?????????????SOC??SRK1202A
- ??о???????????????????????????????
- ?????????MEMS??????ToF??????
- TDK?????????6??IMU??ICM-42688-P???????????????????????????
- ????????EPC???GaN???????????????????????????????
- ???????????????ToF???+????IC?????????????????3D???????
???????????
- 323??????о???鹼???????????·??????????
- 1462024?????????????????
- 129TDK???????6??IMU??3??TMR???????9???????????????...
- 118?????Alev 4 CMOS???????????????????????????
- 37???????????????????????????3D?????????ο????
- 34Knightscope????????????K1 Laser???????????????
- 33???????????????????????????????????
- 31TriLite???????СMEMS????????????????????