?????????????????????????5??16????й????????????????????????????????????????????????????????????????????6???й???????????ü???Ｐ???????????????????й??

???????6???е?2?????й???????????????????????????????????????豸?????????????????“?????????й?????????????????????”??

??????????4??????????????????????????????й???????ο??Wei Pang?????????????????????????????????????????λ???????????????????????????????????????????о??????DARPA?????????о??????????????г??????FBAR???????????RF MEMS????????2005??????????????????????Avago Technologies??????????????????FBAR?????????????????λ???????????????????Skyworks Solutions Inc.??????FBAR??????????????????????????????????????

??????????????????Dorsey &Whitney??????????????Nick Akerman???????????????????α???????????永???????????е???????????????????????????????????????15??“?????????????????????????”?????????????????й?????????????????????????????????????????????????????й????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????г???????????????????豸????????????????GPS?豸???ü??????????????????????????????????????????????????????????????????ü?????????????о??o???????????С?

?????????飬???????????????????2006???2007??????????????飬??????????й??????????????????????????й??????????????г????????????????????????????????????2008?????????У????????????????????????????????????????????????檔?????????????????????????й?????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????2009???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ROFS Microsystem????????????????????????????г??????

???????????????????????????????????????2011??????????????????????????? ?????????????????????λ????????????????幫???????????????顣???????????????????? MEMSо?????顢??÷??????????з???????????????????????????й???????????

????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????貢???????????????????????????г????????????????????????????ú?????????????????????????г??????

????????????й?????????????????ü????????????????????????2014??3?￡?????????????????ж?????????????????????????????????????÷???????Robert Maegerie??????????????????????????????1996???????????????????????????????????????????2014??5?￡??????????????й???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж????????????????????“??????????????ж????”

??????ü??????????????????????????????????????????????????????????????????????й????????·??籨??????????????5??12????????????????????????????鵺???????????????????????????????????ɡ??ù??????????????????????????????????????????????????????й?????????????????12??????????????°???4?????????й????й???????????????????е????????????????????????????????????????????????

?????￡?Richard McGregor??5??19????FT???????????????й??????????????????????????????????й??????????????David Lampton??3?????????????????????????????????????????????й?????????????κξ????????????????????????й????????????????

1. ?????????36????????????????????????????????????ü??????????????????????ü????????????????

2. ??ο???????35?????????????????????????????????????????ü??????????????????????ü????????????????

3. ????????????41????????????????????????????????????????????ü?????????????????????

4. ??????????34????????????????????????????????У???2006?????????????λ???????????ü????????????????????

5. ??磨?????26??????????о??????????????????????????????ü??????????????????????ü????????????????

6. ?????????39?????????????????????????ü????????????????????

??????????????????????????????????????????￡?

?????????ü??????????15????50???????????/???????????????????100????????????

???????????????????10????25????????????/???????????????????100????????????

???ü?????????????15????50???????????/???????????????????100????????????

?????????????????????10????25????????????/???????????????????100????????????