???????????????2021??8??13????????????????????????????????(????)??????(“???????????”)???人????????????????(“???????”)???人???????????????(“?人????”)???????????????Э?頃??

????????????????????????????????????????(??????600753????????“????????”)???????????人????????????????з????????????????????????????????????????????÷??????????????人??????????????????????????????ι???????

???????????????????“????????о?”(“M0???”)??8??羧?????????????????????????????????????????M0??????????????????????ò????

??????????????????????Э?頃?漰????“????????о?”??8??羧?????????????????漰???????MEMS???????????????????豸?????????????????????漰???????????о???????????????????????????δ?????????????￡???????????Э?????2021??????????δ??????????????????????籾Э??????????????????????????????MEMSо?????????????

???????人????????????????????????????潫???????????????????????ι?????н?????????????????????????BAW???????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????γ??????????????BAW???????????????????