????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????Polytec????????????????????????????????????????????

MEMS?????

????????????????????С????侵???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????X??Y?????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????48000?С??????????????м???????????????????侵???????????????Щ??е?????????С?ɡ??????????????????1?????????IZM???????????????о??????????????????????????????????????MEMS?????????1?????

?1 MEMS???????

??Щ??е???????????????????????????????????????侵?????e??????????????????Ч???????乤???????????????繅??????????????????????侵??

MEMS???????

???????MEMS?????漰????????????檔??????????н????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????MEMS???????п?????????????????????????????????????????????

?????????????

????????????????????????????????????????????????????ζ????????MEMS?????????????????伸?ν?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????磬????MEMS???????????????е??????????????????????????????????????MEMS???????????????κν?Σ?????????????

??????

?й?????????????????????????л??????????????????????MEMS?????????????С???Polytec?????????????????????????????Ч???????MEMS????е?????????????2?????????????????????????С?????????????????????????м????????????????????С???????????в?????

?2 ????Polytec??????????????????

????—????—????????

???MEMS???????????????????FEM????????????????????????????????????????λ????е????????????????????д????????????????е?????????????÷??????????λ????????????????????????????????????м????????????????????????????Щ???????????????ü???????????????????????????????????????????????????????????е??

?????????MEMS????????????????е???в??л?????????????????????????????????????????????????????????????????????亯????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????з??檔

????????????????γ??????????????ο???Щ???????й???????

?????MEMS??辵

??????????????????????????????????????????е????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????е?????????????????????3???4??????????????????????м??????????????5????

?3 MEMS??辵??????????????????

?4 ?????????????????????????

?5 ?????????

?????????MEMS??辵????λ?ò????????????????????????????6.1??6.2????

?6.1 ????????????????????????????

?6.2 ??????????????????????????????

????????????????????????????????????в???????С?????У?????????????????ο????????????????????????????

????

?????????????????????????????????????????????е???????ν??????????????ü????????????????????????????????????????Ч??????????????????????IZM?о???????Polytec???????????????????????????y????????

?????????

??MEMS??????-2019?桷

?????????LiDAR?????????г?????-2019?桷

????????＼?????????????-2019?桷

??3D????????-2018?桷

??????????DLP Pico??о??飺DLP nHD??DLP 0.3 WVGA??DLP 0.17 HVGA??