??????????????г????????????????????????????????????????????г???????????????й?????Э???????????????????????????У???????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????????????20%????????????????г?????????2008???25%????2015???35%??

???????????????????????????

??????????????????????????е????????????????????????У???е?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò??????????????????????????????е?????????????????????

??????????????е????????????????????????????????????????仯??????????????????????????

??????е?????????????е?????????????????????????????????????κ??????????????2%????????????????1.5%???????????????????????????????????????????????????5%???????????????????????????????10%??????????￡??????????????????????????????????????1?????????

????????????????????

10??23??????????й???????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????“M-TECH”?????????α?????ü?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ???????????С???????????1??????λ(??????)????????????????????????????????????????????????1??????λ(??????)????????????????????????????????????????????μ?У???????????????仯?????????????????????????????????????????仯?????????????????????????????????????ó??????????????

?????????????????????????1:50??1:80?????????ˉ???ˉ?????ó?????ˉ???,???????????仯??????????????????????????????????S????????????????????????????????????????M-TECH??????????????????????????????????????????????1:100???????????????????????????????????Ч????

???ù?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????e??????????????????????????????????檔

??????????????????????

???????????????????????????????????????????2006??????????й???????????Ч????????????鰸????????????????????????????????????????????????????????5???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????(?????)??????????????仯????????

??????????????MEMS???????????????????????????100?????????????????????????????????н??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????3?￡???????????????????????????????????????????????????????????2015????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????“MEMS??????????????????????????????????????????????????????”?????????????