“?????????????????????з?????????С??????????”????????????????о???(????)?????????????????????й?????????????“?????????????????????????????????????????????????????????????????”

????????????????????????10%

??????о???????????????п?????????????????????????????????????????????е????????????ù?????????????з????????2015?????????5000????????2015??????????????5????????ù???????г???????10%??

??????????????????????????????????????????????????????????????10%??

“???????????????????????????????????????????????”?ù??????????????????????й????????????????“???????????????????·????????????????????10%????90%?????????????????????????95%??????????????????????????????????????????????????”

????????????????????????????????????????????????????????????????????2005??

??????????????????????????о???????????????????á?“?????????????·?????????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????????????绹С1/3??”????????“???????????????????????????????????????????”

????о????????·????????????????????

???MEMS????????з???????

?????????????????????????MEMS????????????MEMS??????ù?????????????????????????е????????????????????????????????????е?????????????????????????·??????????塣

2010???????????????????е??????????9%??????????????????????????????????????????????и??????????????MEMS???????????????????????????????????(????????????????????)??????????????CMOS?????????RF??????????硢???????????

???μ???????????????????г??????????????????????????????????????????????????г??????MEMS?????????????????崦??????????????????????λ?????????г???????????????

???????????20??MEMS??????????MEMS???????????????????????????MEMS?????????????????????в??????????????????г??????????????????????????????????г????????????????????????????20%????г????

??????????·?о????????????????????MEMS???????????·?????????????????????豸????????????????????е?????????????б???IC???????????????????????????????ЩMEMS????????????????????з????????????????????????????????MEMS?????????е?????????????

?????????MEMS??????????????????У?????????????????????в?С?????????????????????MEMS??????????????????????о??????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????С????л?????????г????????????飬??????????????????????????????????

????MEMS??ICо?????????к??????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????Σ????????????

?????????????????з?

??????????????????????о??????й??????“????????????????в??”????????????“??????????????????????????豸??????????????????????????????????????????????”

?????????????????????????豸???????????????????????“?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????”????????飬“??????????????????????????????????豸?????????????????з??????????????????????????????????”

????????г???????????????????????????????2016?????????????????????????????????1????“????????????г?????????????????У??????????????????????????????????????????????????????”????????“??????????????????????????????????????????????????????????????”

“????????????????????????????????????????????”????????“??????????????”