3D???м????????????????????硢???????????????Χ???????????????е????????LiDAR????????С??????????е????????譚?????????濪?????У?FPSA????3D??????????????????????????????????????????е???????????????????衣???????????FPSA??3D????????????????????512?????????????

?????????з????????????????FoV?????????????С??????????????????????????????????????о?????Щ????????????????????????????OPA???????濪?????У?FPSA??????????????????????????????????

FPSA?????????????????????????????????????????????????????????濪?????????????????FPSA?е???????粢?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????????г???????

???????????????????????????????????????У??University of California??Berkeley???????????????????????????????????????????????????????Ming C. Wu?о??????Nature????????????“A large-scale microelectromechanical-systems-based silicon photonics LiDAR”???????о??????

?????о????????????????128 × 128????MEMS FPSA?????????128 × 96?????У????????????????????????????????FMCW????????????????????16384?????????????5mm???????????????????70°×70°??????????0.05°??????????л???????????????????16384??????????????????????????????????е???????MEMS FPSA????FPSA??????????FMCW??????????????????????3D???????С??????о??е?FPSA???и???????????????????У?????????????CMOS????????????????????????????????????????????3D???????????????

FPSA???????????

??FPSA?????????????????????????????????о??е????????????о???FMCW??????????????????????????????????????????????????????沨?Σ?????????????1550nm??????????????DFB???????????????????8.6GHz??б?????80 μs??????????????????????????????????????ο????????????????????任?????????????????????????????о?????????????????????FPSA?????????????????????????????FMCW????????????????????????

?????о????????????????3D????Ч??

?????????????????????????????????о???硢??С?????λ????????????????MEMS???????????????????????????С?????????λ??硣FPSA????????????????????-????????????MZI?????????????MEMS??????OFF???μ??????????????Ψ?????????????????????MEMS???????????????е???ü???????????ü?????α???????????????????????MEMS?????????С???????????????????????????????????FPSA?б???????????????????FPSA?????????????????????????CMOS???????????????

FPSA???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CMOS???????????????????????????????磬?????????????????????С??FPSAо??????С????????????????????????????????????FPSAо???????????????????????????????????180°???????????????

?????????https://www.nature.com/articles/s41586-022-04415-8

?????????

?????????????LiDAR????????????-2022?桷

??????????????????????-2020?桷

???????????????????????????????-2021?桷

??VCSEL???????????????-2022?桷

??????????VCSEL???????г?-2021?桷??