?????????????????????????????????????????????У?о???????LOC????????????????????????????????о????????????Э???????????????????????????к???????????????????????????о??????????????????

???????????????????????????????????ETHZ??Я?????????????UZH???????????????????????UNL??????????????????????????????Ч?????RAEE????????????????е????????????Ч????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????顣???????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????л???????е???????

???Ч?????effector????????????????????????????壬?????????????????е???????Χ?豸????????????????????????á?

???????????Ч?????????????1500 μm????????3μm~10 μm???п?????????????????????????????????????綣????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5kHz?????300 kHz????????1~20 VPP?????????????????Ч???????????е??????????????????3D??????????о????????????÷????????????????????????????????????????о?????????????????????????2.0μm??5.0 μm???????????b???????????У?????ù????????????????????

????????????????????Ч?????RAEE?????????ú???????

?о???????????????????????3D?????????Щ????????????????????????????????????????????????????????????????64.6 kHz??140 kHz?????????????????????????????????????????????????????????a??b???????????????????????????????????????￡? ?????69.5 kHz??269 kHz???????? ?￡?????????????????????????????У????c??d??????????????????????????????d?е???????????????c?е????????????135°?????????????????????γ??????????????????????????Щ?????????

???????????????У?????????ü???????????????л?????

?о???????y????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????鶯??????????侭?????????о????????????????????????????????????????о??????????У??о?????????????????????????????????????????????á????豸???е????????о????????????κ??????????2D??3D?????в????????????????????????????????HPF??120С??????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????о??????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????a????

???????????????????????Ч???????????????

????????????????????????????е????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò???????????????????????????i?????????????????????????????ii??????????????????3D??????????????????????????????????о???????????????????????κ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????е???????

??????????????????????20???????????????κ??????е????????????????????????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????о??п??????м??????????漰?????????????????????????????е??о???

?????????https://www.nature.com/articles/s41467-022-34167-y

?????????

????????????????С?