- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
113??????С???????????????????????????
2017-07-05 17:43:30 ???????????? ?????0 ?????
?????????????У???о??????????????????????????????????????С?????——113????????????????С?
?????????????о????????????????????????????棨Scientific eports?????С?
?о?????????????????????????????????????????????????
????????????????????????????·?е?????????????????????С???????赲????????????????????????“???й?”????й?????????????????????????о???????????????????????????????????
?????о???????????????????????????????????????????書??????????????????????628????
?????????????-4??104???????????????????????????????????????????豸???????????
?????о????????????????????????????????????????????????????????????Щ???仯???????壬?????????????????????????????
???????о??????????????????????????????????
?????????
????????????????????
??????????????з?????????????????????????????¢??????
??????NIST??????????????
??????????
???????????
- 378?????????????????????????????????2???????
- 120???????????????????????????????????????mK...
- 112??????????????????MEMS??????????????????????
- 89??????????????????????????????
- 60???Χ?????????????????裬?????????????????
- 57??????ī??????????????????????????
- 49??????????????????????????
- 48??????о???????С??????-????????????