????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????澧???о??????????????????Χ??о???????????????????????

???????????????????????????????????????????????????о???????С??????-????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????TSV?????-???????????????????????????????????????????????????????????????ü????????????????????????????????????????о??????“Small-size temperature/high-pressure integrated sensor via flip-chip method”???????Microsystems & Nanoengineering????????????????????????????????????????????

?????о???????????о????????????????-????????????????????????????????TSV???-???????????????????С??????磬?????????????????????????????????ü???????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????????ú?????洫?????????????Ч????????????????????????

?1 ??????о??????????-???????????????????????

?2 ???-????????????????????????????????????

?3 ???-?????????????????????о????????

?о?????????????????-????????????????????????????????????ü??????????????????0 ~ 20 MPa??Χ?????????7.97 mV/MPa????????0.16% FS????-40 ~ 120?淶Χ???????0.04% FS????????0.06% FS??????????±0.23% FS???????0.18% FS???????????0.04% FS??????????-0.20% FS????????в?????????????TCR???3142.997 ppm/?棬???????С??±1?檔

?4 ???-?????????????????????

?????о????????????????о???????????????????С??????-???????????????ü?????????????????????????豸??????????????豸????????????????????????á?

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-024-00723-3

?????????

??First Sensor?????STARe?????????о??????????

??Merit Sensor???????????MEMSо??????????

???????????????BMP581?????????